나노리소그래피 기술은 나노·마이크로 형상의 제조과정에서 중요한 역할을 하는 기술로, 나노패턴을 실리콘 웨이퍼, 유리, 플라스틱과 같은 기판위에 미세하게 그려나가는 과정입니다. 제품의 성능과 생산비용에 직접적인 영향을 미치는 나노임프린트 리소그래피 기술, 디지털 광학리소그래피 기술 및 나노·마이크로 성형 가공 기술 분야의 초격차 기술을 확보하고, 개척자 정신으로 미래형 AR/VR 디스플레이용 나노광학부품, 신속하고 정확한 의학 나노제품 등의 혁신적 응용기술을 연구합니다.

조직도

연구분야

• 나노임프린트 리소그래피 공정·장비 및 응용 기술
• 디지털 광학리소그래피 공정·장비 및 응용 기술
• 나노 · 마이크로 성형·가공 및 응용 기술

대표성과

나노임프린트 리소그래피 장비 개발 및 세계최초 나노구조 내재화된 인공수정체

나노임프린트 리소그래피 장비를 개발하여, 기존 광학 또는 전자빔 리소그래피 방법보다 저렴한 비용으로 다양한 기판에 나노스케일 구조를 정밀하게 제작할 수 있게 되었습니다. 이 기술은 미리 제작된 패턴이 새겨진 스탬프를 사용하여 나노스케일 구조를 형성함으로써, 고해상도 패턴 제작과 대량생산에 적합합니다. 나노임프린트 리소그래피는 반도체, 의료 진단, 고해상도 디스플레이 제작 등 다양한 분야에서 비용과 시간 절약의 혜택을 제공하며 혁신을 가능하게 합니다.