나노리소그래피연구센터 |
이지혜 |
- 나노 접합 공정 기술/초음파 응용 접합 기술/고온 직접 접합 기술 - 나노 패터닝/나노 임프린트 공정기술 - 탑다운/바텀업 하이브리드 3차원 나노구조체 제조 기술 - 태양광 수전해 기반 수소생산, 광전기화학 수소생산 고효율 재료 및 전극 - |
042-868-7801 |
나노리소그래피연구센터 |
권순근 |
- 나노 공정 및 나노 소자 응용 |
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나노리소그래피연구센터 |
김기홍 |
- 광간섭 및 기타 광학을 응용한 초정밀 형상 측정 분야 - 마이크로 나노 크기의 미세 반도체 응용 패턴을 제작하는 공정 및 시스템 기술 |
042-868-7076 |
나노리소그래피연구센터 |
김재구 |
- 레이저 응용 미세가공 (Excimer Laser, DPSS UV Laser, Femtosecond Laser) - 기계 및 레이저 융복합 시스템 및 패턴 공정 기술 - 고에너지 빔 응용 나노가공 기술 |
042-868-7141 |
나노리소그래피연구센터 |
박수아 |
- 나노/바이오메디컬 융합 3차원 복합구조체의 바이오엔지니어링 기술 |
042-868-7969 |
나노리소그래피연구센터 |
유영은 |
- 나노 및 마이크로 구조물 응용 플라스틱 제품의 사출 성형 및 금형 기술 - 미세 패턴 응용 광학 필름의 Roll-to-roll 연속 성형 - 플라스틱 디바이스 성형 제작 및 패키징 - 나노 마이크로 패턴 및 미세 입자를 이용한 플라스틱 제품의 외관 성형 기술 - 나노 마이크로 입자 복합재료 성형 공정 기술 |
042-868-7883 |
나노리소그래피연구센터 |
윤재성 |
- MEMS 기술: 마이크로 엑츄에이터, 마이크로 디바이스 설계, 제작 및 시험 - Microfabrication process: 마이크로 패턴 가공 - Microfluidics: 마이크로 펌프, 마이크로 열 및 유체 이송/교환 장치 - Micro thermal & energy system: 마이크로 냉각 장치, 마이크로 연료전지 장치 및 시스템 - 초소형 신재생 에너지 변환 및 발생장치 |
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나노리소그래피연구센터 |
이재종 |
- 나노임프린트 공정 및 장비기술 - 다층 대면적 나노패터닝 공정 및 장비기술 - 전자빔리소그래피 및 간섭계방식 리소그래피 공정기술 - 나노센서 및 기능성 나노소자 기술 - 나노구조체기반 Implantable/Patchable 의료소자 기술 |
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임형준 |
- 나노공정을 위한 광학 및 임프린트 기반 시스템 및 응용 기술 - 초정밀 기계 및 광학 요소 부품에 대한 설계, 조립, 평가 기술 |
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- 펨토초 레이저 응용 극미세 가공/ 공정기술 - 펨토초 레이저 기반 나노바이오 응용기술 - 펨토초 레이저 기반 생체세포 조작/진단 기술 - 펨토초 레이저 기반 반도체 건식 세정공정 기술 - 장거리 레이저 거리 측정기술 |
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