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KIMM 최우수연구상

Award for
Best Research
2006년도 최우수 연구상

이응숙 이응숙

기술개발 내용 및 특징

다기능 프린팅공정 기술개발

    ○ 다기능 프린팅공정 기술개발
    - 대면적 나노임프린트 공정 및 응용기술개발
    - 다중패턴스탬프를 사용하는 싱글스텝과 스텝-엔-리피트 자외선 나노임프린트 공정기술 개발(기존 나노임프린트 공정 대비 10배이상 공정속도 향상 및 공정장비단가 50%이상 감소)

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