KIMM 최우수연구상
Award for
Best Research
2006년도 최우수 연구상
이응숙
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직위
책임연구원
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부서
나노공정연구실
- 메일
기술개발 내용 및 특징
다기능 프린팅공정 기술개발
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○ 다기능 프린팅공정 기술개발
- 대면적 나노임프린트 공정 및 응용기술개발
- 다중패턴스탬프를 사용하는 싱글스텝과 스텝-엔-리피트 자외선 나노임프린트 공정기술 개발(기존 나노임프린트 공정 대비 10배이상 공정속도 향상 및 공정장비단가 50%이상 감소)
- 담당부서 인력개발실
- 연락처 042-868-7728