기술개발 내용 및 특징

초정밀 위치결정용 stage의 운동정밀도 향상기술 개발

○ 초정밀 위치결정용 stage의 운동정밀도 향상기술 개발
- 반도체 노광용 리소그래피 장비, 가전, 광산업용 초정밀 비구면렌즈 가공기
및 각종 참단장비의 핵심기술인 초정밀 stage의 운동정밀도 향상을 위해
정밀도 창성공정을 이론적으로 대체할 수 있는 알고리즘의 최초 제안 및
실험적 검증
- 국내 초정밀 장비개발 본격화
- 국산화개발에 취약점인 운동정밀도 향상기술 확보