기술개발 내용 및 특징

진공 플라즈마를 이용한 반도체 친환경공정 기술개발

● 진공 플라즈마를 이용한 반도체 친환경공정 기술개발

- 반도체 오염물질 저감을 위한 진공 플라즈마 기술
*오염물질: 반도체 공정은 온실가스, 유해물질, 미세입자 등의 다양한 환경오염물질들을 배출하고 있으며, 이들은 현재 진공펌프 후단에서 연소기술에 의해 처리되고 있음.
*제안기술: 진공펌프 전단에 플라즈마를 발생시켜 환경오염물질들을 처리하는 신개념기술로, 친환경공정과 진공펌프 수명연장을 동시에 이룰 수 있음
- 진공 플라즈마 구조-구동 원천기술 확보 (원통형 전극구조 + 저주파 구동), 기술이전 (㈜엘오티베큠, ㈜클린팩터스), 상용화 (삼성전자 반도체 라인에 적용)