기술개발 내용 및 특징

10 ㎚급 나노측정 원천기술 개발 및 국제표준 제안

● 10 ㎚급 나노측정 원천기술 개발 및 국제표준 제안
- 나노 임프린트 공정과 관련된 10 ㎚급 측정 원천기술 확보
- 나노스케일 패턴의 형상 측정 기술 개발
- 공정용 소재의 기계적 물성 측정기술 개발
- 나노 소재의 복합물리 측정 기술 개발
- 국제표준 제안으로 원천기술의 선취권을 얻기 위한 발판 마련